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            微電子所成立于1980年,其前身是原無線電電子學系1957年創辦的半導體教研組,是專門從事微電子學和納電子學領域高層次人才培養和科學研究的機構。微納電子系建于2004年,是清華大學微納電子學科的教學和可以機構,主要從事前沿科學研究,產出對本學科有重大影響的科研和學術成果,培育微電子和納電子領域的學術大師和優秀人才。三十多年來,微納電子系/微電子所在我國半導體及集成電路發展史上取得了一系列代表國家水平、具有標志性的成果,為中國的半導體事業發展做出了突出貢獻,累計獲國家獎勵9項,省部級獎勵30多項。微納電子系/微電子所下設有固體器件與集成技術研究室、集成電路與系統設計研究室、微納器件與系統研究室和CAD技術研究室四個研究室和微納電子技術支撐平臺。2016年4月共有教職工81人,其中教授、研究員15人,副教授、副研究員、高級工程師和高級實驗師38人。經過三十多年的發展,微納電子系/微電子所形成了微納電子學和集成電路與系統兩個研究方向,建立了比較完善的硅基微電子研究體系,培養了大批高素質的優秀人才,是中國微納電子學科研和人才培養的重要基地之一。

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          清華大學微電子學研究所
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